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      無氧烘箱是如何實現無氧環境的?

      更新時間:2023-12-21  點擊次數: 454次

      隨著各類產品工藝的日益精進和要求的提高,催發了無氧烘箱在工業用途上的普及。尤其是半導體行業,在此類烘箱的需求上日益旺盛。

       

      那么我們所說的無氧烘箱是如何實現無氧環境的呢?下面海向小編給大家介紹一下:

       


      無氧烘箱內部工作室的無氧環境主要是通過氮氣置換來實現的。

       

      往設備腔體內經專用進氣口和導管充入高純氮氣,氮氣的一般純度在99.99%以上(可以根據不同產品對氧含量的不同要求來選擇氮氣純度)。

       

      海向無氧烘箱的氮氣排氧控制系統采用雙路氮氣導入回路,各向箱內提供0~100L/min+0~480L/min的氮氣,每路配套進口電磁閥,雙流量自動切換,到達設定濃度自動關閉保持低氧濃度環境,自動切換至低流量氮氣,大大節省氮氣消耗量,也可根據工藝制程要求,自行設定,滿足多種工藝需求。

       

      氮氣壓力檢測-100kpa~100kpa可設定,當腔內內部氮氣正壓力超出預警壓力值自動報警切斷進氣閥門。

       

      海向建議大型氮氣烘箱或者氧含量要求較低的,最好自己工廠具備制氮機,因為保持較低的氧含量就需要不間斷的充入氮氣,對氮氣的流量要求較大,而瓶裝氮氣的成本相對較高,故有制氮機是較佳選擇。

       

      氮氣進入后,經過高溫加熱再通過過濾器,反復循環,達到要求的數值。目前,氧含量檢測主要基于氧氣傳感器。接通電源,達到一定值,氧氣傳感器,開始檢測。

       

      海向建議:不要長時間在潔凈室外使用設備。長期在有塵環境使用??諝庵械?/span>大量顆粒灰塵會大大降低空氣濾清器的壽命。


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